高纯气体在多个行业都有应用,其中为广泛的是以下三个领域:
1. **电子工业**。在高新科技产业中,如微电子、光子集成电路等产品不断追求更小、更快和更高密度的发展趋势下,对气体的纯净度要求愈来愈高,尤其是有机类大宗气体(如 N2 、 Ar )更是必备条件之一 。此外 , 高纯氢也主要用在外延片生产上 . 不同行业的具体需求存在差异 , 一般而言,越接近表面处理(镀膜)的工序所用的气体种类越多,纯度和流量越高;而制成后期的封装环节通常只需少量的载或零流的气体即可满足需要 ( 如内存条生产线). 在半导体制造工艺中的前道部分主要是以氮气为主的高浓度特种标准混合气的使用;尾端则是用于保护环境的清洁空气/粗氧的使用.。
随着国内洁净室及配套设施工程的不断发展以及国外设备的引进安装到位.国产化率将不断提高,这为该市场带来了巨大的商机和潜力。
同时真空设备也需要各种不同的高纯稀有气体作为工作动力及工作环境气氛气氛控制介质。
另外还有激光技术所需的氦氖气体也是其主要消费来源及其它一些特殊用途比如科研实验分析检测等等都是其重要组成部分的应用场景!
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