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高纯气体通常是指通过特殊工艺处理，将空气中的杂质和水分等去除，使其纯度达到99.999%以上的气体。高纯气体有毒吗？这取决于高纯气体的具体成分。一般来说，高纯气体中不含有有毒物质，因此它们不会对人体造成伤害。但是，如果高纯气体中含有某些有毒物质，如一氧化碳、二氧化硫等，那么它们就可能对人体造成伤害。因此，在使用高纯气体时，需要注意其成分，确保其安全性。
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